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光譜 SiC外延體相表相無損缺陷分析

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光譜 SiC外延體相表相無損缺陷分析

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July 04, 2023 – 微波探測(cè)空間分辨率低，僅為mm級(jí)別，無法獲得載流子壽命精確分布成像。采用全新瞬態(tài)吸收光譜成像技術(shù)，利用高速相機(jī)實(shí)現(xiàn)載流子衰減動(dòng)力學(xué)的成像，無需掃描樣品！檢測(cè)速度大幅提升

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