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該設備為我司研發用于薄膜材料連續生長專用設備或薄膜材料連續熱處理使用，該設備配備真空系統，氣體流量控制系統，可實現多種實驗調整，同時具有一定的產能要求。真空腔室內采用動密封，確保系統在真空或氣氛保護條件下工作，適用于連續生長等工藝要求。

技術參數：

◆工業計算機控制系統，對爐溫、進退料、氣體流量等動作進行自動控制  
◆關鍵部件均采用優質配件，確保設備的高可靠性 
◆工藝管路采用進口閥門管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無污染（管路均采用EP級電拋光管），流量控制采用優質流量計（MFC）控制 
◆工作壓力閉環自動控制，提高工藝穩定性和可靠性 
◆控溫精度高，溫區控溫穩定性好 
◆具有斷電報警、超溫報警等多種安全保護功能 
◆高質量的加熱爐體，確保恒溫區的高穩定性及長壽命

一、溫度控制系統  

**溫度：1200℃

使用溫度：≤1100℃

爐膛有效尺寸：Φ100mm

爐膛材料： 氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型： K型熱熱偶（五個點) 。

控溫精度：±1℃， 30段可編程控溫，PID溫度控制程序，五段控溫（300+300+300+300+300mm），五段溫度可設置相同，獲得超長加熱溫區，也可以根據需要設定不同溫度段，以滿足不同的工藝要求。

加熱元件：優質電阻絲

供電電源： 單相，220V，50HZ

二、氣路控制系統

連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。

氣體種類:1路.

標準量程（N₂)： N2: 200、（具體量程需*終確認）

準確度：±1.5%

線性：±0.5～1.5%

重復精度：±0.2%

響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

**壓力：3MPa

接口：Φ6,

顯示：4位數字顯示

工作環境溫度:5~45高純氣體             

內外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

截止閥：Φ6

三、真空系統

技術參數：

空氣相對濕度≤85%，

工作電電壓：220V±10%  50~60HZ

功率：1千瓦

抽氣速率：10m3 /h

極限真空：4X10-2Pa

實驗真空度：1.0X10-1Pa

容油量：1.1L

進氣口口徑：KF25

排氣口口徑：KF25

轉速：1450rpm

噪音：50dB