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等離子增加化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

BTF-1200C-SL-A

直接聯(lián)系

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

安徽合肥

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

貝意克

型號：

BTF-1200C-SL-A

關(guān)注度：

1286

產(chǎn)品介紹

一、設(shè)備簡介

BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌CVD系統(tǒng)。本設(shè)備集真空系統(tǒng)、供氣流量系統(tǒng)、自動推進、加熱于一體，并將所有控制集成于觸屏操控界面之中，使設(shè)備更加智能化，便于使用者操作。溫度范圍寬：100-1200度可調(diào)，加熱區(qū)域長度：1650mm。適用范圍寬:金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復(fù)合薄膜，連續(xù)生長各種薄膜等。


二、技術(shù)參數(shù)

功率

3KW

額定電壓

AC 220V  50/60HZ

**溫度

1200℃

工作溫度

1100℃

推薦升溫速率

10℃/min

空開大小（自備）

2P 40A

爐管尺寸

高純石英管Φ100*1400mm

**滑動距離

880mm

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

質(zhì)量流量計

兩路500sccm+5000sccm

機械泵

10m3/h

設(shè)備凈重

約230Kg


產(chǎn)品咨詢

等離子增加化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

BTF-1200C-SL-A

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