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水平氧化擴散爐

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青島華旗科技有限公司

山東

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

華旗科技

型號：

水平氧化擴散爐

關(guān)注度：

622

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品性能：

4~8寸晶圓工藝，每臺1~4/5管

恒溫區(qū)：800/1000/1250mm

溫度：200～1300℃/1350℃

全自動機械手裝卸，懸臂/軟著陸

晶圓自動倒片，完整的工廠MES系統(tǒng)對接，符合SECSⅡ/HSMS/GEM等標準

配套工藝：

擴散：氣態(tài)/液態(tài)/固態(tài)源磷硼擴散

氧化：干氧/濕氧（DCE, HCL）

氮、氫退火，燒結(jié)、合金等


產(chǎn)品咨詢

水平氧化擴散爐

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