粉體行業在線展覽
FGL(TD)-60/17
面議
費舍羅
FGL(TD)-60/17
4670
【簡單介紹】
FGL系列雙溫區管式梯度爐專門設計用于雙溫區CVD工藝也可用于其它高溫材料的熱處理工藝。兩個溫區獨立控制,溫區可單獨使用,也可提供較大梯度差的溫場。優質硅鉬棒、硅碳棒,電阻絲組合加熱,在同一腔體內實現不同的溫度差,是CVD工藝的專用理想設備。
【詳細說明】
FGL系列雙溫區-管式梯度爐(T max 1700℃和T max 1400℃)
FGL系列雙溫區-管式梯度爐專門設計用于雙溫區CVD工藝也可用于其它高溫材料的熱處理工藝。兩個溫區獨立控制,溫區可單獨使用,也可提供較大梯度差的溫場。優質硅鉬棒、硅碳棒,電阻絲組合加熱,在同一腔體內實現不同的溫度差,是CVD工藝的專用理想設備。
特點
工作溫度RT~1600℃
爐管管徑40mm~100mm可選
溫區個數2個
程序控溫儀,智能邏輯PID算法,控制精準??删庉嫛Υ娌⒄{用多段程序,無需重新設置,操作簡單。
爐殼結構,雙層爐殼風冷結構。
采用不銹鋼雙層密封法蘭,進、出氣閥配美標針閥。
兩端可調節式法蘭支撐結構,延長剛玉管使用壽命。
超溫保護功能,當溫度超過允許設定值自動斷電。
安全保護當爐體漏電時自動斷電。
LED高強度抗破壞全不銹鋼按鈕,經久耐用。
拓展選件: 爐內測量系統(氧含量檢測系統、溫度檢測系統);
真空系統(旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組);
氣氛系統(浮子流量計、質量流量計);
監控系統:(溫度記錄儀、觸摸屏遠程監控);