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極限溫度：

1200℃

工作溫度：

≤1100 ℃

溫度控制器：

PID自動控制晶閘管（可控硅）輸出功率， 30段可編程控制器

升溫速率：

≤50℃/min

加熱區：

200+200mm

恒溫區：

100+100mm

控溫精度：

±1 ℃

電源：

單相220V，交流50Hz

3路質量流量供氣系統

（觸摸屏控制）

**電壓：

185~245V/50Hz

**輸出功率：

18W

流量計標準量程：

100 ，200，500SCCM

（非特殊指定以氮氣標定，量程可選定）

工作溫度：

5~45 oC

工作壓差：

0.1～0.5 MPa

**壓力：

3MPa

準確度：

±1.5% FS 

低真空系統

抽速：

8.11 m3/h

極限總壓：

3×10-3 mabr

進排氣口：

DN 25 KF

噪音

（氣鎮開關時，距離1米處測量）

54 dB

注油量：

0.7- 1.1 L

重量：

21 Kg

工作溫度：

10~40 ℃

功率：

550W