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高溫氧化爐

高溫氧化爐

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賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

賽瑞達

型號：

高溫氧化爐

關注度：

389

產品介紹

SiC與GaN晶圓氧化工藝設備，工藝時間短，生產效率高，具有出色的工藝性能。

設備特點

◎ 型號:OXIDE150

◎ 工藝溫度:1380℃~1500℃

◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?

◎ 工藝壓力:100mbr-Atmospher

◎ 晶圓尺寸:≤150mm

◎ 產能:25或50 片/批

◎ 正常UP Time:98%

◎ 全自動化系統和MES服務


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高溫氧化爐

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