粉體行業在線展覽
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上海煜志科技有限公司（杭州嘉悅智能設備有限公司）
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611
簡介
1200℃加長雙溫區CVD系統是由加長雙溫區管式實驗電爐，多通道高精度質量流量計混氣系統，高真空分子泵系統等組成。可實現真空達0.001Pa混合氣體化學氣相沉積、擴散實驗。同時上海煜志良好的售后服務，使得該產品的整體評價遠超同行業標準。
主要技術參數
爐體結構 | 整機采用SUS304不銹鋼材質，流線型外觀，斷熱式結構 日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好 雙層殼體結構，內置風冷層，有效降低外殼表面溫度 爐蓋可開啟，可以實時觀察加熱的物料 |
電源 | 電壓：AC220V 50/60Hz；功率：8kW |
爐管 | 高純石英管，高溫下化學穩定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數極小； 尺寸：Φ60/80/100*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空 一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷 可調節的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統 | 加熱元件采用優質合金絲，表面負荷高、經久耐用； 加熱區長度：350mm*2； 恒溫區長度：450mm； 工作溫度：≤1150℃； **溫度：1200℃； 升溫速率：推薦≤10℃/min； *快升溫速度30℃/min. |
溫控系統 | 日本富士儀表，64段控溫程序，可分步、分段； 測溫元件：N型熱電偶； 控溫精度：±1℃ |
混氣系統 | 三路質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制 內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量 流量規格：0~1SLM 流量精度：±1.5% 法蘭上預留一路浮子流量計，流量規格0.3-3L/min |
真空系統 | 采用雙極旋片真空泵+分子泵，極限真空可達4.0*10-4Pa 復合真空計顯示，配置電阻規+電離規 抽速：110L/s，風冷式散熱結構 配置真空角閥、波紋管、壓差式充氣閥 |
可選配件 | 冷水機，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機控制軟件等 |
保修期 | 整機一年保修（相關耗材除外） |
可根據客戶要求定制！
特色與優勢
1.加長雙溫區爐體，大大加長了實驗區域的溫度均勻性；
2.開啟式爐蓋設置，降低沉積溫度、加快沉積速度；
3.日本富士溫控儀表，64段控溫程序，可分布，分段，三路質量流量計，數字顯示精確控制氣體流量；
4.雙極旋片真空泵+分子泵，實現對真空度的不同要求，極限真空可達4.0*10-4Pa；
5.配置一路浮子流量計及三路高精度質量流量計混氣系統，可滿足不同氣氛下的實驗要求；
6.內置S型熱電偶，可快速、實時監測反應物料的溫度變化情況；
7.尾氣活性炭過濾處理，減少反應氣體排放對實驗室環境的影響。
