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541
1）： 適用于多種規格晶片的干燥；
2）： 獨立的控制系統，可單獨使用，也可整個模組兼容到自動清洗機上使用；
3）： 無機械運動機構，防止運行時晶圓破損；
4）： *小的活動部件提供更高的系統可靠性，降低設備維護費用；
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