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Plasma Etch PE-25等離子清洗器

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溢鑫科創(chuàng)科技集團

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產(chǎn)品介紹

美國PE公司1980年就開始致力于電子行業(yè)使用的等離子設備研發(fā)及相關(guān)服務, 至今已成為全美***的等離子系統(tǒng)解決方案專業(yè)供應商, 其旗下PE系列, BT大尺寸系列,大氣壓系列, PCB專用系列, Roll-to-Roll系列的發(fā)展歷史已經(jīng)超過了30年, 廣泛應用于全球各大小型生產(chǎn)及研發(fā)實驗室, 全球超過8000套用戶。知名客戶如美國宇航局NASA, 波音Boeing, 霍尼韋爾Honeywell, 摩托羅拉Moto, 德國拜耳Bayer, 軍用飛機領(lǐng)軍企業(yè)洛克希德馬丁Lockheed-Martin, 及全美各大名校及科研院所如哈佛大學, 麻省理工, 萊斯大學, 橡樹嶺國家實驗室等等。

美國PE擁有等離子技術(shù)領(lǐng)域里*頂尖的技術(shù), 憑借著多年研發(fā)和突破性創(chuàng)新, 先已擁有了多項技術(shù)**, 如**的溫控技術(shù)和**的靜電屏蔽技術(shù), 使其等離子設備能提供****的處理效率, 均勻性和可靠性, 其刻蝕清洗效率是市面上其他等離子設備的三倍以上。

PE-25,PE-50,PE-75,PE-100,PE-200臺式等離子表面處理設備是專門針對于大學,研究機構(gòu)和工廠研發(fā)設計的小批量樣品處理裝置, 性價比高,性能優(yōu)越,操作方便。

PE系列優(yōu)勢如下:

1. 真空腔室均采用航空特種鋁,研究表明采用這種特級鋁材的腔體材質(zhì)可以微調(diào)每個等離子體以保證整個處理過程的**均勻性。性能遠優(yōu)于傳統(tǒng)石英,玻璃或不銹鋼腔室

2. 腔體一體成型,無焊接縫隙, 具有非常好的耐用性和整體穩(wěn)定性。

3. 電容平行板設計, **效*均勻的等離子體產(chǎn)生方式。 腔體與電極之間的間隙可到63mm至140mm,可以輕松將大尺寸不規(guī)則實驗樣品放入腔體內(nèi)處理。

4. 操作簡便, 面板的操作部分,非傳統(tǒng)按鈕旋鈕控制的設計使得操作控制更加便捷和避免人為誤操作。一般操作人員在極短的時間內(nèi)就可以熟練操作,只需要幾分鐘就可上手掌握。

5. 安全保障:在小型設備中,**引入一鍵急停保護按鈕,當參數(shù)設置有誤而設備已經(jīng)啟動的時候,可以快速終止實驗,以*小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。

6. **的粉體收集裝置,可以處理500~1000ML粉體

技術(shù)參數(shù)如下:

應用領(lǐng)域如下:

目前設備廣泛應用于:等離子清洗、刻蝕、改性、灰化、涂鍍和反應離子刻蝕,在真空電子、LED、太陽能光伏、集成電路、生命科學、半導體科研、半導體封裝、芯片制造、MEMS器件等領(lǐng)域有廣泛應用。

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