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應(yīng)用領(lǐng)域：

• 生物芯片領(lǐng)域

• 醫(yī)用材料、光學(xué)材料研究

• 電子半導(dǎo)體領(lǐng)域

• 高分子材料研究

• 電化學(xué)、高端零部件處理

• 有機材料的灰化、刻蝕

儀器性能：

• 自動調(diào)頻高頻發(fā)生器

• 內(nèi)置旋轉(zhuǎn)真空泵

• 此系統(tǒng)通常使用氧及氬的混合氣體，氧去除有機物質(zhì)（碳氫化合物），氬對樣品表面進行刻蝕

• 低溫等離子灰化、刻蝕、清洗 (0-150 watts RF)

• 真空監(jiān)測.

• 雙重氣流針閥控制

• 精確時間定時

• 微處理器程序設(shè)置

• LCD狀態(tài)數(shù)字顯示

• 腔室為圓柱形，樣品裝載為抽屜式抽拉系統(tǒng)，樣本操作方便

• 聚碳酸脂安全防護

技術(shù)參數(shù)：