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羅茨真空泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵，靠泵腔內(nèi)一對漸開線轉(zhuǎn)子同步反向旋轉(zhuǎn)的推壓作用來移動氣體而實現(xiàn)抽氣的真空泵。通常抽氣速率較大，配置電機較小，故需要前級泵預(yù)抽，到前級泵抽到規(guī)定真空度后，啟動羅茨真空泵，來提高抽速和真空度。它的結(jié)構(gòu)和工作原理如圖所示。

1、泵內(nèi)運轉(zhuǎn)件無摩擦、無潤滑、無油可獲得清潔真空。

2、轉(zhuǎn)子漸開線擺線型線、加工精度高、動平衡確。

3、泵腔內(nèi)氣體垂直流動，有利于被抽氣體中的灰塵與冷凝物的排除。

4、專業(yè)制造的高精度齒輪、進口軸承，確保運轉(zhuǎn)平穩(wěn)可靠。

5、采用油箱、中壁水冷夾套設(shè)計，對泵油、軸承、齒輪、密封組件進行全 方位冷卻，大大提高使用壽命。

6、可與液環(huán)真空泵、往復(fù)真空泵、旋片真空泵、干式真空泵等組成羅茨真空機組。

7、過流部件可全不銹鋼、鍍鎳磷合金、碳化鎢，哈氏合金、襯四氟，根據(jù)真空強腐蝕性環(huán)境而選擇防腐方案。

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