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JT系列風(fēng)冷復(fù)合分子泵由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大壓縮比高，牽引泵高壓強時抽速大，壓縮比高的特點，擴展了分子泵的應(yīng)用范圍。

復(fù)合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng)，由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應(yīng)用于光伏，照明，宇航、半導(dǎo)體、能源、**、激光、家電材料、汽車等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域.

JTFB-1200F風(fēng)冷復(fù)合分子泵外形尺寸、安裝連接尺寸

JT系列復(fù)合分子泵技術(shù)參數(shù)表

表-5    JT系列復(fù)合分子泵技術(shù)參數(shù)表
技術(shù)數(shù)據(jù)	JTFB-1200F復(fù)合分子泵
高真空法蘭(mm)	200 CF	200 ISO-K
前級管道法蘭(mm)	40 KF
抽氣速(L/S)(對空氣)	1200
壓縮比	N2	>109
	H2	>1X104
極限壓強(Pa)	<8×10-8	<5×10-7
電機轉(zhuǎn)數(shù)(rpm)	24000
振動值	≤0.1μm
啟動時間(min)	5
停機時間(min)	7
建議采用的前級泵（L／S）	8-15
冷卻方式	風(fēng)冷
風(fēng)冷泵環(huán)境溫度（℃）	≤35
泵體烘烤溫度（℃）	<120
加熱器功率(w)	<300
加熱器輸入電壓(v)	AC220裝方
安向	垂直±5°
泵重量(kg)	≈29