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設(shè)備規(guī)格

襯底尺寸：標(biāo)準(zhǔn)尺寸：200mm Dia (8 inch）（可定制)
工藝溫度：溫度范圍：RT~500°C （可定制）
前驅(qū)體路數(shù)：**支持6路前驅(qū)體氣路（可定制)，包含固、液態(tài)前驅(qū)體源瓶

加熱系統(tǒng)：可加熱溫度范圍：RT~150℃

反應(yīng)物路數(shù)：支持2路反應(yīng)物氣路（可定制）
載氣：標(biāo)準(zhǔn)：N2, MFC 流量控制（可定制）

等離子體系統(tǒng)：支持4路等離子體氣體（可定制）

射頻功率：0~1000W
壓力監(jiān)測：雙薄膜規(guī)組合（耐腐蝕)，0.005Torr - 1000Torr
本底真空度：<5x10-3 Torr
真空系統(tǒng)：標(biāo)準(zhǔn)油泵

控制系統(tǒng)：19寸顯示器，支持觸控工業(yè)級嵌入式工控機，高可靠性，支持擴展
操作系統(tǒng)：Win7 操作系統(tǒng)，工業(yè)級可編程邏輯控制器，支持現(xiàn)場總線與實時多任務(wù)處理操作

高溫加熱模塊：獨立的源瓶加熱模塊，可支持RT~200℃