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在搭載有JED能譜儀的日本電子200kV及300kV透射電鏡系統(tǒng)上可配備牛津儀器軟件系統(tǒng)AZtec TEM，使得該類用戶可以使用功能強(qiáng)大的牛津儀器顯微分析軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)的采集與分析。可實(shí)現(xiàn)的功能包括：

• 常規(guī)定性定量分析 Analyzer/Point ID；

• 元素線掃描及面掃描 LineScan/Mapping；

• 漂移校正功能(主動(dòng)及被動(dòng)) - 在分析納米級(jí)和原子級(jí)結(jié)構(gòu)時(shí)至關(guān)重要 Autolock；

• 真實(shí)元素分布：實(shí)時(shí)更正重疊峰和其他假象，然后自動(dòng)將真實(shí)數(shù)據(jù)可視化      TruMap；

• 元素定量分布：元素含量的二維分布 QuantMap；

實(shí)時(shí)元素分布：實(shí)現(xiàn)元素分布的動(dòng)態(tài)觀察 AZtecLive；