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熱膨脹系數分析儀（TEA ）

獨特優勢

可廣泛應用于輔助各種功能薄膜材料的研究與開發及質量檢驗

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自主知識產權產品，擁有多項技術**

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基于光干涉原理的創新技術

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采用 PID 調節與模糊控制相結合形式控制的紅外加熱方式，大溫區連續、高速溫度跟隨、既定

程序升溫及保持控制

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非接觸式無損檢測，測試精度高

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具備外接抽真空設備、循環水冷設備及載氣或制冷能力

測試原理

基于光干涉原理，測量透明材料及非透明材料的熱膨脹系數。

激光器射出的光線經分光鏡照射到樣品上表面，產生反射光，同時投射光照射到下表面也產生

一束反射光，兩束反射光在光電探測器處發生干涉，反射光功率發生周期性變化，得到光功率隨材料溫度的變化曲線，通過計算得到熱膨脹系數。

技術參數

型號 TEA-300 TEA-1200 TEA-1800

溫度范圍 RT~300 ℃ RT~1200 ℃ RT~1800 ℃

程序升溫重復性偏差 ＜1.0%

程序升溫速率偏差 ＜10.0%

熱膨脹系數測量精密度偏差 ＜4.5%

熱膨脹系數測量正確度偏差 ＜±15%

**工作功率 4.0KW

**升溫速度 3000 ℃/min (50℃~1800℃，真空氛圍)

2700 ℃/min (50℃~1800℃，N 2 氛圍)

溫場一致性 ± 2.0 ℃（1800℃，真空）

± 4.5 ℃（1800℃，N 2 ）

制冷要求 水冷

極限真空 50Pa 10Pa 1Pa

熱膨脹薄膜材料檢測厚度下限 266nm

熱膨脹分析**量值 5.0×10 ^-10 m