超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU9000

專門為電子束敏感樣品和需**300萬倍穩(wěn)定觀察的先進半導體器件，高分辨成像所設計。

特點

• 新的電子槍和電子光學設計提高了低加速電壓性能。

  0.4nm / 30kV (SE)

  1.2nm / 1kV (SE)

  0.34nm / 30kV (STEM)

• 用改良的高真空性能和****的電子束穩(wěn)定性來實現(xiàn)高效率截面觀察。

• 采用全新設計的Super E x B能量過濾技術，高效，靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。