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Park NX-Hybrid WLI

全自動工業(yè) WLI-AFM 系統(tǒng)

Park NX Hybrid    WLI是有史以來**款具有內(nèi)置WLI輪廓儀的AFM，用于半導(dǎo)體和相關(guān)制造質(zhì)量保證。例如半導(dǎo)體前端、后端到高級封裝的過程控制，以及研發(fā)計(jì)量。它適用于那些需要在大面積上進(jìn)行高吞吐量測量的設(shè)備，這些設(shè)備可以縮小到具有亞納米分辨率和超高精度的納米級區(qū)域。  

半導(dǎo)體計(jì)量的兩種**互補(bǔ)技術(shù)。

• WLI:      白光干涉測量是一種光學(xué)技術(shù)，它可以對非常寬的區(qū)域進(jìn)行成像，速度非常快，滿足高吞吐量測量。

• AFM:      原子力顯微鏡是一種掃描探針技術(shù)，即使對透明材料也能提供*精確的納米級分辨率測量。