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東海耀碳素（大連）有限公司
遼寧
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東海耀碳素
411
東海采用CVD法生產(chǎn)的Solid SiC產(chǎn)品被廣泛應用于離子刻蝕等半導體設備中，我們的產(chǎn)品有以下幾大優(yōu)勢：
1、無熱變形
2、無氣體釋放
3、良好的化學穩(wěn)定性
4、相比硅材料壽命長
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