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EVG GEMINI晶圓鍵合系統

EVG GEMINI晶圓鍵合系統

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亞科電子（香港）有限公司

北京

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

亞科電子

型號：

EVG GEMINI晶圓鍵合系統

關注度：

759

產品介紹


產品簡介：

EVG GEMINI是一款全自動多腔室晶圓鍵合工藝平臺，實現了高程度的集成度和自動化，適用于大型量產。

主要特點及參數：

·**支持12英寸（300mm）晶圓

·*多兼容4個鍵合腔室和6個預處理腔室

·兼容底部對準、紅外對準以及SmartView對準

·可選配模塊：

低溫等離子體活化

晶圓清洗

涂膠模塊

UV固化模塊

烘烤/冷卻模塊

對準驗證模塊


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