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結(jié)構(gòu):主要由Y軸大理石直線電機模塊及Z軸精密移動模塊組成，還包括涂布頭,涂布頭調(diào)節(jié)模塊，注液模塊，風刀模塊及電控部分組成。工藝:所選涂料經(jīng)過注液泵注入高精度涂布頭，基材在大理石平臺上被真空吸附定位，涂布頭調(diào)平后直線電機平臺裝載基材移動，完成基片均勻涂布。