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擴散氧化爐（科研型）

擴散氧化爐（科研型）

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湖南艾科威半導體裝備有限公司

湖南

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參考報價：

面議

品牌：

艾科威

型號：

擴散氧化爐（科研型）

關注度：

983

產品介紹



技術指標

●適用晶片尺寸 ：  2~8英寸圓片

●工作溫度： 600℃～1300℃； 

●可配工藝管數量：1~2管/臺

●恒溫區長度及精度：≤±0.5℃/300~600mm （800℃～1300℃），

● 單點溫度穩定性：≤±0.5℃℃ /24h （1100℃）； 

●溫度斜變能力：**升溫速率20℃/min，**降溫速率5℃/min； 

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