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回轉CVD設備

BTF-1200C-V-R-280

直接聯系

安徽貝意克設備技術有限公司

安徽

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

貝意克

型號:

BTF-1200C-V-R-280

關注度:

6665

產品介紹

一、設備特點:

1、本設備提供一個五溫區的超長溫場,五個溫區可獨立控制

2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理,上下可電動開啟。

3、流量計和加熱采用模塊化設計,便于維護保養。

4、加熱元件采用康泰爾摻鉬合金電阻絲,**使用溫度可以達到1200度,溫場均勻,使用壽命長。

5、采用觸摸屏和工控電腦自動控制,參數設置和操作直觀方便,參數自動記錄保持。

6、設備集成化設計、以及集成化管理,美觀方便。

 

二、設備組成:加熱系統,爐管轉動系統,螺旋送料系統、供氣系統、真空系統、工控及操作系統。

1、加熱系統:

該加熱系統的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研實驗處理,電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發熱元件的壽命,測溫元件為K型熱電偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數,無須操作人單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統。

高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統,控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控員的干預,可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號,同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經驗的要求。

 

2、爐管轉動系統:

爐管轉動系統可以讓爐管360°勻速轉動,轉速在0-60r/min連續可調,且能在60r/min轉速下長時間運行。管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結更均勻。

 

3、螺旋送料器:

先將樣品儲存于樣品罐中,通過螺旋送料器將樣品送入石英管內。送料完成之后送料桿退回到原始位置。周而復始,達到自動送料。


4、供氣系統:

供氣系統是一種可控制三種氣體按不同流量進行混合配比,也可根據實驗需求加裝洗氣裝置,質量流量計安裝于密封的可移動機柜內,由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成,觸摸屏控制。


5、真空系統:

真空機組,內部安裝機械泵1臺,電阻真空計1套,并含有配套使用的波紋管,手動擋板閥,卡箍等連接部件。

 

 

三、加熱主體設備技術參數:

 

腔體尺寸

外徑Φ280 ,Φ300,Φ400,Φ500,Φ600尺寸可選 (中間異型區域尺寸)

爐膛保溫材料

氧化鋁纖維

表面溫度

≤60℃

加熱元件

進口KTL電阻絲

加熱區數量

5區,每個溫度獨立控制,使溫場均勻性更好

加熱區長度

300+300+300+300+300mm

恒溫區長度

真空條件兩端加氧化鋁管堵的情況下,五個溫區設定同一溫度使恒溫區可達1200mm

使用溫度

1200℃

建議長時間使用溫度

<1100℃

控溫精度

±1℃

升溫速率

0-20℃/min,建議升溫速率10℃/min

設備功率

28KW

設備工作電源

380V/50HZ

熱電偶型號

K型

控制器

可編程控溫儀表,PID調節,升、降保溫全自動

控溫方式

人機界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,數字工控儀表雙控,采用工業智能控溫儀表和軟件實現雙控,采用模糊型PID控制

無紙記錄

內置存儲記錄運行工藝數據,外接USB接口,可以電腦連接一鍵拷貝數據

結構描述

設備可對半電動開啟,加快冷卻速度、表面溫度低于60℃

轉動密封收集系統

爐管一端配有不銹鋼密封可轉動水冷法蘭、螺旋送料裝置

 

四、3路供氣系統參數

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2)

500sccm、1000sccm、2000sccm(量程型號根據要求定制)

耐壓

3MPa

接口

Φ6

顯示

液晶屏顯示

工作環境溫度

5~45高純氣體

內外雙拋不銹鋼管

Φ6

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6卡套接頭

 

真空機組參數:

空氣相對濕度

≤85%

工作環境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1千瓦

抽氣速率

60m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進氣口口徑

KF40

排氣口口徑

KF40

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連

電阻真空計參數:

配用規管:

ZJ-52T電阻規,

測量范圍:

10 5 ~10 -1 Pa,

測量路數:

1路

控制范圍:

 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

控制方式:

繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載

電源:

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

功耗:

20W


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