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靜電卡盤又稱靜電吸盤（ESC），是半導體設備中價值比較高的部件之一；用于半導體工藝中的硅片夾持，利用靜電吸附原理來固定硅片。近年來，隨著國家加大半導體領域的投入，我國半導體設備采購額逐年增加，推動了包括靜電吸盤（ESC）在內(nèi)的核心部件的采購量增長。此外，隨著中國大陸晶圓產(chǎn)能的建設和擴產(chǎn)，中國成為全球晶圓產(chǎn)能增長的重心，帶動國產(chǎn)半導體設備的需求增長，為國產(chǎn)靜電吸盤（ESC）的發(fā)展提供了良好的機遇。

陶瓷靜電卡盤由含有置入其內(nèi)的至少一個電極層的陶瓷圓盤構成，通常使用多層陶瓷共燒工藝進行制備，采用絲網(wǎng)印刷導電漿料（鎢、鉬）在一個或多個陶瓷生坯片（氧化鋁或氮化鋁材質）上形成電極。將印刷好的生坯片按照要求進行疊層共燒后，經(jīng)過精加工得到陶瓷圓盤。

為解決燒結設備依賴進口的問題，我司通過多年積攢的高溫氣氛燒結設備制造經(jīng)驗，結合國外設備的優(yōu)點，研發(fā)制造出“BF220-17NH高溫氣氛鐘罩爐”設備，專門用于靜電卡盤的高溫共燒工藝，有效尺寸達Φ750×H500。