粉體行業(yè)在線展覽
PECVD
10-20萬元
PECVD
2754
PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積(CVD)反應(yīng)溫度降低,在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離,形成等離子體,利用等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),所以這個(gè)系統(tǒng)稱為增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)。
該型號(hào)PECVD為成儀**款,綜合了國(guó)內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn),成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂。而且控制部分采用了成儀自主研發(fā)的實(shí)驗(yàn)電爐AIO全自動(dòng)智能控制系統(tǒng),使得操作更加簡(jiǎn)便,功能更加強(qiáng)大。
主要特點(diǎn):
1. AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個(gè)7英寸觸摸屏進(jìn)行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控,協(xié)調(diào)控制——成儀AIO控制系統(tǒng);
2. 管內(nèi)壓力自動(dòng)平衡——管內(nèi)壓力實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),自動(dòng)平衡管內(nèi)壓力。
3. 智能氣路通斷——每路氣體均可定時(shí)通斷,省時(shí)省力;
4. 射頻功率和開關(guān)定時(shí)控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時(shí)間,自動(dòng)運(yùn)行;
5. 爐膛移動(dòng)速度可調(diào)——根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求,用戶可設(shè)定爐膛左右移動(dòng)的速度可距離;
6. 整機(jī)結(jié)構(gòu)融為一體——移動(dòng)方便,避免分散組裝的困擾。
技 術(shù) 參 數(shù)