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氧化亞硅半連續氣相沉積爐

設備名稱∶氧化亞硅半連續氣相沉積爐

應用領域∶氧化亞硅半連續量產

工藝描述∶高真空脫氧，氣相沉積，自動研磨刮

料、爐外收集。可配AGV智能物流車

技術參數：

1．型號：MGB150-130VH

2. 技術參數：裝料罐尺寸Φ1500　X　1300，裝料量２．５T，工作溫度１３５０℃，極限溫度1６00℃，真空度0.５-2.5Pa，氣氛類別：Ar/N2，總功率500KW，工序時長２４H/爐。

3. 產品特點：適用于動力電池負極材料（氧化亞硅等可氣相沉積材料）大批量生產；溫差控制精度高，高溫高真空；具備高真空脫氧，脫脂、脫水、混煉反應、氣相沉積材料自動研磨刮料、爐外收集等特殊工藝能力。完全自主知識產權設計制造，一次裝料量大，生產效率極高，全程全封閉全自動化作業（可配AGV智能物流車），生產能耗相比普通單體爐降低約50%，性能穩定，主要元器件皆為進口大品牌。保修期一年，售后服務高效、專業。