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RTP快速爐

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蘇州哈騰科技有限公司

江蘇

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品牌：

蘇州哈騰

型號：

RTP快速爐

關注度：

861

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  1. 升降溫速度快，升溫采用環形紅外短波加熱器，*快升溫速率可達200°C/s，降溫時通過將爐膛退出，實現對產品的快速降溫；

  2. 測溫采用精準的S型金屬熱電偶直接測量產品表面，使加熱工件的溫度更加準確

  3. 控制數學控制數學模型采用先進的PID自學習模糊雙閉環控制模式，使控溫精度在快速升溫的恒溫狀態仍能保持在+3°C;

  4. 功能多樣化，既可以用于材料的快速升降溫退火，也可用于化學氣相沉積(CVD)法，在或銅箔上制備石墨烯的制備.

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