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氮化硅陶瓷燒結(jié)裝備的主要配置如下：

爐門：側(cè)開門，臺(tái)車裝出料

爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽：石墨保溫或金屬保溫

加熱器：石墨或鉬加熱體

工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計(jì)；手動(dòng)閥/自動(dòng)閥；進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)

真空泵和真空計(jì)：進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)

人機(jī)界面：模擬屏/觸摸屏/工控機(jī)

PLC：霍尼韋爾DCS控制器、西門子PLC、歐姆龍PLC

控溫：霍尼韋爾DCS控制器、日本導(dǎo)電儀表、霍尼韋爾儀表、歐陸儀表

熱電偶：WRW-2300或紅外

電器元件：天正/正泰/施耐德/西門子

氮化硅陶瓷燒結(jié)裝備的規(guī)格：