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液相法SiC單晶爐

YS-C08S01

直接聯(lián)系

廣州粵升半導(dǎo)體設(shè)備有限公司.

廣州

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報(bào)價(jià):

面議

型號:

YS-C08S01

關(guān)注度:

285

產(chǎn)品介紹

粵升設(shè)備融合二十余年的SiC晶體工藝經(jīng)驗(yàn)打造,給您提供高質(zhì)量,低成本的SiC單晶。


設(shè)備名稱:液相法SiC單晶爐


規(guī)格參數(shù)


設(shè)備型號:YS-C08S01


設(shè)備尺寸:L1800xW1400xH3750mm


適用工藝:LPE法(兼容PVT法)


長晶尺寸:6吋兼容8吋


籽晶/坩堝升降行程:200mm


籽晶/坩堝旋轉(zhuǎn)速度范圍:0-180rpm


**加熱溫度:800~2200℃C



設(shè)備特點(diǎn)


·液相法SiC長晶特點(diǎn)


·生長的晶體質(zhì)量高,缺陷少,沒有微管類缺陷,晶體應(yīng)力低,


·可生長n型、p型SiC單晶晶錠,也可生長3C-SiC


·生長過程對溫場影響小,工藝穩(wěn)定性好


·不需預(yù)合成SiC粉原料,生長成本低


·生長溫度低,能耗低。



產(chǎn)品咨詢

液相法SiC單晶爐

YS-C08S01

廣州粵升半導(dǎo)體設(shè)備有限公司.

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