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立式真空擴散爐
直接聯系
青島育豪微電子設備有限公司
山東
面議
育豪微電子
168
設備性能指標
1
操作方式
立式
2
管路數
1管
3
加工晶圓尺寸
6-12寸
4
適用工藝
擴散（鎵擴）、玻璃鈍化（GPP）、退火、合金
5
溫度校準功能
具有自動校準溫區功能，具有預先寫入偏差值快速拉溫區功能（選配）
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