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>砷化鎵單晶生長爐

砷化鎵單晶生長爐

砷化鎵單晶生長爐

直接聯(lián)系

青島育豪微電子設(shè)備有限公司

山東

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

育豪微電子

型號：

砷化鎵單晶生長爐

關(guān)注度：

201

產(chǎn)品介紹


設(shè)備性能指標

1

操作方式

手動

2

管路數(shù)

1管

3

加工晶圓尺寸

4-6寸

4

適用工藝

VGF/VB 工藝

5

控溫精度

±0.2℃/＞1280℃恒溫區(qū)內(nèi)

6

控溫模式

Spike控溫+Profile串級控溫

7

控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

一體工控機+PLC

8

報警保護:

具有超溫報警，斷偶報警，氣體互鎖，氣體緩啟動等功能


產(chǎn)品咨詢

砷化鎵單晶生長爐

砷化鎵單晶生長爐

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砷化鎵單晶生長爐 - 201
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