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廣東鴻浩半導體設備有限公司

廣東

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參考報價：

面議

品牌：

鴻浩半導體

型號：

PECVD

關注度：

893

產品介紹

核心技術：

多站式（Multi-Stantion）設計，系統(tǒng)具有優(yōu)異的膜厚均勻性；

模組化機臺設計能夠針對客戶的需求做設計；

射頻功率設計，使反應物能在低溫的狀態(tài)下達到高速率的沉積，進而提高產能；


先進性：

具有多站式（Multi-Stantion）設計，能夠實現(xiàn)高重復性，使薄膜沉積的更加均勻；

優(yōu)化RF功率，使薄膜應力及反射率達到**數(shù)值


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