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特征概覽:

• 用于監(jiān)測復(fù)雜工藝制程四極質(zhì)譜分析儀系統(tǒng)，檢測范圍：0-100，0-200和0-300amu
• 允許7天24小時連續(xù)監(jiān)控，提高產(chǎn)品良率及產(chǎn)能，降低生產(chǎn)成本
• 緊湊型設(shè)計可安裝于每個高壓強真空系統(tǒng)
• HexBlock ^TM 取樣系統(tǒng)使系統(tǒng)性能**化
• 內(nèi)置壓力傳感器（CDG），用于工藝壓強監(jiān)測和提供聯(lián)鎖保護
• 備用可選的標準氣體，用于調(diào)諧和校正
• 封閉式離子源可阻擋腐蝕性氣體和反應(yīng)性氣體，并可檢測ppm量級的污染物
• 重量輕，易搬運

應(yīng)用：

• 高壓強真空系統(tǒng)（< 2個大氣壓）檢漏，氣體純度，污染檢測，工藝制程監(jiān)控及刻蝕終點探測 （Endpoint），涉及領(lǐng)域：材料，傳統(tǒng)高壓強真空系統(tǒng)，半導(dǎo)體，平板顯示器及太陽能等行業(yè)PVD，CVD及刻蝕系統(tǒng)