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728
先進(jìn)的 2D合成材料集成系統(tǒng)CVD
該設(shè)備的二維材料合成尺度從芯片到晶體，包括石墨烯，h-BN的合成，TMDCs不同襯底上采用氣相或固相前驅(qū)體和有機(jī)金屬（鉬）。
系統(tǒng)特點(diǎn)：
快速加熱和冷卻的可移動(dòng)電機(jī)控制的加熱器（**）
TCVD100平臺(tái)：超過(guò)5年，全球100套系統(tǒng)的**性能表現(xiàn)
全部制樣過(guò)程提供現(xiàn)場(chǎng)安裝服務(wù)
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