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應(yīng)用領(lǐng)域：

◆Solar

◆LED

◆Thin Film

◆Etching

◆Diffusion

技術(shù)參數(shù)：

WTC-100: NH3>99% BCL3>99% HCL>99% Cl2>99% (+NaOH) HBr>99%

WTC-200: NH3>99% HCl>99% PH3>99% SiCl2H2>99% SiH4>99% WF6>99% H2>99% ClF3>99%

WTC-300: TEPO>99% B2H6>99% NF3 >95% NH3 >99% PH3 >99% SiH4>99% TEB>99 TEOS>99% WF6>99% MA>99% HCl>99% HF>99% GeH4>99% SiCl2H2>99%

公司介紹:

漢科系統(tǒng)科技創(chuàng)立于公元1990年，經(jīng)營團隊多年來的努力已成為全方位系統(tǒng)整合的領(lǐng)導(dǎo)廠商之一，漢科團隊的專業(yè)技術(shù)能力和豐富的工程實務(wù)經(jīng)驗，成立了全方位的系統(tǒng)整合服務(wù)平臺。

漢科系統(tǒng)科技獲得的國際質(zhì)量管理的認(rèn)證有ISO 9001， SEMI S2， 和OHSAS 1800。公司內(nèi)部嚴(yán)格的控管生產(chǎn)及施工步驟，如工安管制，質(zhì)量管理，采購控管、項目進度控制、現(xiàn)場協(xié)調(diào)、預(yù)算控制、材料查驗...等。

產(chǎn)品優(yōu)點：

◆簡單界面，易于操作；

◆粉塵捕捉效率高；

◆節(jié)約用水；

◆符合工廠設(shè)備安全要求；

◆PM周期長，且PM時間短；

◆運行成本低；

◆可根據(jù)客戶需求，提供客制化服務(wù)。

◆客服響應(yīng)時間短，備品備件充足