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適用于各種材質的非接觸3D測量

緊湊，快速，精確至納米級 VIKING

桌面式3D輪廓測量儀VIKING 測量范圍

VIKING是個體型小和低重量的光學3D輪廓測量儀，非常適合VIKING系統提供150毫米 x 150 毫米的平面測量范圍。根據

放置在一般的桌臺上。不同應用，它可以配備光譜共焦點傳感器或激光三角線傳感

器。根據每個單獨配置，VIKING高度精度能達到10納米內。簡單的設置與操作

另外，可以選擇用于獲取和處理數據的不同選項，其中包括

基于***的創新傳感器技術，VIKING量測系統可以快速操作簡單的編程程序以實現重復性測量。

生成三維表面形貌。此外，直觀和易于操作的系統軟件是

VIKING測量系統的另一個關鍵特點:新的操作員只需花費較

短的時間來理解系統，并可以在短時間內執行更多的測量。

一旦建立并保存后，測量和數據分析過程可以在任何時候重

復執行。

典型應用

?輪廓?三維面粗糙度?厚度?體積

?幾何尺寸?直線度?截面面積?二維線粗糙度

?磨損?平面度?面積

每個應用，除了參數結果數據，也提供了光學表面測量圖和不同的分析圖。

輪廓和面平面度直線

ISO 12781 ISO 12780

Flatness Parameters Straightness parameters

FLTt28，2 μmPeak-to-valley flatness deviation of the surface STRt8，19 μmPeak-to-valley straightness deviation

FLTp13，3 μmPeak-to-reference flatness deviation STRp3，32 μmPeak-to-reference straightness deviation

FLTv 14，9 μmReference-to-valley flatness deviation STRv 4，87 μmReference-to-valley straightness deviation

FLTq5，98 μmRoot-mean-square flatness deviation STRq2，33 μmRoot-mean-square straightness deviation

Parameters Value Unit

Area 1，95 mm2

Volume 21526324 μm3

Max height 26，6 μm

二維線粗糙度三維線粗糙度

ISO 4287 ISO 25178

Amplitude parameters - Roughness profile Parameters table - S-L-Surface

Context MeanStd dev Min Max Height Parameters

RaμmGaussian filter， 0.8 mm 0，329 0，00839 0，318 0，356 Sa1，53 μmArithmetic mean height

RqμmGaussian filter， 0.8 mm 0，407 0，0108 0，395 0，442 Sq1，99 μmRoot-mean-square height

RpμmGaussian filter， 0.8 mm 1，09 0，0289 1，04 1，16 Feature Parameters

Rv μmGaussian filter， 0.8 mm 1，13 0，0555 1，04 1，23 S5p 5，63 μmpruning = 5% Five point peak height

RzμmGaussian filter， 0.8 mm 2，21 0，07 2，11 2，39 S5v 10，1 μmpruning = 5% Five point pit height

RtμmGaussian filter， 0.8 mm 2，54 0，112 2，34 2，78 S10z 15，7 μmpruning = 5% Ten point height

SOLARIUSGLOBAL.COMVIKING 3

技術參數 VIKING

光譜共焦傳感器:

光學探頭¹⁾0，2 mm 1 mm 4 mm 12 mm

應用距離，厚度

測量范圍200 μm1 mm 4 mm 12 mm

工作距離4.7 mm 15.7 mm 36.7 mm 29 mm

光斑直徑3.4 μm5 μm8 μm14 μm

橫向分辨率1.7 μm2.5 μm4 μm7 μm

縱向分辨率8 nm 40 nm 160 nm 180 nm

線性度150 nm 400 nm 1.6 μm-

測量角度范圍90 °± 45 °90 °± 28 °90 °± 20 °90 °± 14 °

測量厚度范圍²⁾up to 0.3 mm up to 1.5 mm up to 6 mm up to 16 mm

頻率up to 4，000 Hz 2，000 Hz

光源LED

¹⁾ 更多型號我們

²⁾ 折射 n=1.5

激光三角傳感器:

傳感器5 mm 20 mm 40 mm 60 mm 80 mm

測量范圍Z5.9 mm 20 mm 40 mm 60 mm 80 mm

工作距離38 mm 53 mm 50 mm 53 mm 60 mm

分辨率3.9 μm13.3 μm26.6 μm40 μm53 μm

測量范圍（X）-中間4.5 mm 12 mm 24 mm 35 mm 48 mm

測量范圍（X）-開始3.9 mm 10 mm 20 mm 30 mm 40 mm

測量范圍（X）-結束5 mm 13 mm 27 mm 40 mm 55 mm

頻率200 Hz / 350 Hz (X分辨率減低)

線性< 0.06 % of FS （整個量程范圍）

光源激光波長 658 nm， 激光器等級 2M

系統配置:

設置桌臺式

橫向測量距離/行程范圍150 mm x 150 mm

平臺平面度± 5 μm

負載容量*重 10 公斤

垂直行程范圍25 mm

尺寸[寬 x 深 x 高]475 mm x 450 mm x 434 mm

重量29 公斤

供應電壓100-240 V， 50-60 Hz

文件格式SUR， TXT， CSV

電腦臺式電腦包含顯示器

軟件SolarScanNT， SolarMap

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