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主要簡介：

UTA系列是將DLP投影儀盒金相顯微鏡相結合的縮小投影型無掩模曝光系統，其價格低于傳統系統（用于掩膜光刻的圖案投影曝光系統） 可以使用專門為此目的開發的軟件來創建想要的圖案。

主要特點：

l顯微鏡LED曝光裝置概述

l顯微鏡LED曝光單元UTA系列是不需要掩模的用于光刻的圖案投影曝光裝置。

l使用金相顯微鏡盒LED光源DLP投影儀，將具有機微米分辨率的任意圖案投影到涂有抗蝕劑的基板上進行曝光。

l圖案可以在PC上自由創建。

l因為可以在普通的室內環境中在各種大小盒形狀的單晶薄片上形成電極，所以它比電子束光刻便宜且簡單，不需要制造昂貴的電極圖案掩膜。

主要應用：

l薄膜FET和霍爾效應測量樣品的電極形成

l從石墨烯/鉬原石中剝離電極形成并評估其特性

l研發應用的圖案形成。

技術參數：

• 由于顯微鏡和DLP的結合，可以用很低的成本來構建系統

• 易于使用的軟件可以輕松的創建曝光圖案

• 通過物鏡放大倍率圖案，可以進行大范圍的批量曝光

• 可以連接到您自己的顯微鏡上（選項）

• 分辨率在微米級

• 曝光范圍：2.5mm×1.5mm *小100um×60um

• 可以連接到您自己的顯微鏡上（選項）

• 分辨率在微米級

• 曝光范圍：2.5mm×1.5mm *小100um×60um