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CVD 真空化學氣相沉積設備

CVD 真空化學氣相沉積設備

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沈陽威泰科技發展有限公司

沈陽

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

威泰科技

型號：

CVD 真空化學氣相沉積設備

關注度：

1982

產品介紹

CVD 真空化學氣相沉積設備詳情

CVD設備適用于熱絲法化學氣相沉積金剛石，采用鎢絲/鉭絲作為加熱器，加熱分解碳物質，激活化學氣相反應，制備金剛石膜。


安裝形式

立式

加熱器分布方式

圓周分布

加熱器材質

鎢絲/鉭絲

保溫材料

—

MAX溫度

3000℃

控溫精度

±1℃

均溫性

±5℃

極限真空度

5×10-4Pa

均溫區尺寸

按客戶要求定制

控制方式

自動/手動


產品咨詢

CVD 真空化學氣相沉積設備

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