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WDS系列 晶圓擴晶設備

WDS系列 晶圓擴晶設備

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江蘇通用半導體有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

通用半導體

型號：

WDS系列 晶圓擴晶設備

關注度：

235

產品介紹

功能說明

晶圓擴晶機又稱為晶圓擴張分離機。將經過切割后的晶圓進行擴張，增加獨立晶粒（Die）之間的間隙，便于摘取分裝。晶圓經過隱形切割后，通過頂升、擴張動作，將隱形切割后晶圓內部的變質層拉伸，使晶圓沿著變質層開裂，形成整齊可控的切割裂紋。

擴晶1

機構特征

擴膜高度可以調節 

擴膜速度可以調節 

臺盤溫度可以調節

擴晶1

設備優勢擴晶2


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