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MEMS用高真空密封機

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上海載德半導體技術有限公司

德國

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1753

產品介紹

技術規格：

1. 兩個加熱區域，每區域直徑200mm、6組件適配器；

2. 腔體高度：100mm；

3. 底部加熱：450攝氏度(選配600度)，頂部加熱：200攝氏度；

4. 升溫速率：20度/分鐘 (真空環境)；

5. 降溫速率：20度/分鐘 (真空環境)；

6. 真空度：10exp-6 hPa；

7. 軟件Unisoft包括USB接口；

8. 可儲存20程序，每程序包括100步；

9. 尺寸：550 x 500 x 1060 mm (WxHxD)；

10.重量：105Kg；

產品咨詢

MEMS用高真空密封機

上海載德半導體技術有限公司

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