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半導體器件設備-硅片顯影定影設備 全自動顯影機型號：CGB-XXXX—XX系列，品牌：華林嘉業(yè)—CGB 1．概述：本設備可用于半導體工藝中對2″~8″硅片進行顯影和定影，該產(chǎn)品技術先進、一致性強，適用于規(guī)模生產(chǎn)。 2．整臺設備材料均為進口。 3．本設備為雙排槽構成，每排7槽，各設一套機械手，兩排可同時完成相應的工序。 4．本設備除裝片和取片需人工外，其余工藝動作均可自動完成。 5．每槽裝片能力：50片/批（2花籃，25片/花籃）。 6．工作區(qū)潔凈度：100級。 7．槽間工藝轉換時間：Tm