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隨著納米科技和薄膜技術的發展（太陽能電池，cvd、pvd、dlc、MEMS等），納米尺度的機械性能測試趨向標準化。納米機械性能測試在傳統測試基礎上有了很大改進，通過設計高寬徑比的探針測試更深更窄的溝槽，還實現低載荷，高空間分辨以及原位載荷-位移數據測量。

納米壓痕 — 參照ISO14577標準，選取單點/多點壓痕來測量薄膜、涂層和塊體材料的硬度、楊氏模量、張力、應力（馮米塞斯應力，von Mises stresses）和接觸強度/剛度等。

納米劃痕 – 在接觸模式下，可根據用戶自定義不斷增加載荷，檢測薄膜、涂層和塊體材料的劃痕硬度和劃痕黏附力。

動態壓痕 - 通過探針動態測量方法，檢測隨深度變化的損失模量以及存儲模量。

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微米機械性能測試已經被應用于檢測涂層和塊體材料的各種機械性能。微米機械性能測試儀勝于傳統測試方法，可以提供原位載荷-位移數據、應用例如聲學發射檢測、ECR、摩擦檢測等信號來獲得綜合機械性能信息。

儀器化微米壓痕檢測——參照ISO14577標準，在毫米尺度（應用超過2牛的載荷）以及微米尺度（低于2牛的載荷）下檢測涂層和塊體材料的硬度、楊氏模量、張力、應力（馮米塞斯應力，von Mises stresses）和接觸強度/剛度等。

傳統維氏硬度和努普硬度參照ASTM E384.99標準，測量材料的顯微硬度。

微米劃痕—在接觸的模式下，可根據用戶自定義不斷增加載荷，檢測薄膜、涂層和塊體材料的劃痕硬度和劃痕黏附力。