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氯化提純爐又稱氯化脫氣，其基本原理是利用氯化劑和高溫條件，使石英砂中的雜質與氯化劑發生反應，轉變為氣態或凝聚態的氯化物，從而去除雜質。
    在一定溫度范圍內，隨著溫度的升高，雜質與氯化的反應速率加快，提純效果增強。然而，過高的溫度可能導致石英砂中的晶體結構發生變化，影響其物理化學性質。因此，適宜的溫度范圍需要根據實際進行調整。