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新一體化鎢燈絲掃描電鏡 Axia ChemiSEM，該儀器將微區(qū)成分分析與電鏡成像集成在同一平臺(tái)上，快速提供所需微觀形貌及實(shí)時(shí)成分信息，幫助學(xué)術(shù)和工業(yè)用戶快速獲得全面、可靠的數(shù)據(jù)，準(zhǔn)確執(zhí)行故障分析和缺陷檢測(cè)。

Axia ChemiSEM 主要技術(shù)參數(shù)及特點(diǎn)：

•通用型 SEM 系統(tǒng)，可涵蓋多種類(lèi)型樣品。可分析絕緣材料、處理大而重（達(dá)10 kg）的樣品，同時(shí)能夠分析常規(guī)的小尺寸樣品。

•靈活性 SEM 系統(tǒng)，支持各類(lèi)功能附件。

•使用便捷，不依賴于用戶操作水平、能夠便捷提供元素或化學(xué)信息。

•高度自動(dòng)化，自動(dòng)對(duì)中技術(shù)確保系統(tǒng)始終處于**工作狀態(tài)，用戶指南及撤銷(xiāo)功能幫助用戶更輕松操作系統(tǒng)。

•處理效率**：實(shí)時(shí)定量成分分析成像，更快獲得定量分析數(shù)據(jù)。

•分辨率：3nm@30kV，8nm@3kV