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EMPro多入射角激光橢偏儀

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北京賽凡光電儀器有限公司

北京

產品規格型號
參考報價:

面議

關注度:

690

產品介紹

EMPro是針對高端研發和質量控制領域推出的**型多入射角激光橢偏儀。

EMPro可在單入射角度或多入射角度下進行高精度、高準確性測量。可用于測量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數k;也可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數k;亦可用于實時測量快速變化的納米薄膜動態生長中膜層的厚度、折射率n和消光系數k。多入射角度設計實現了納米薄膜的**厚度測量。

EMPro采用了量拓科技多項**技術。

特點

  • 原子層量級的極高靈敏度

  • 百毫秒量級的快速測量

  • 簡單方便的儀器操作

應用:
EMPro適合于高精度要求的科研和工業產品環境中的新品研發或質量控制。EMPro可用于測量單層或多層納米薄膜層構樣品的薄膜厚度、折射率n及消光系數k;可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數k;可用于實時測量快速變化的納米薄膜的厚度、折射率n和消光系數k。EMPro可應用的納米薄膜領域包括:微電子、半導體、集成電路、顯示技術、太陽電池、光學薄膜、生命科學、化學、電化學、磁介質存儲、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等。可應用的塊狀材料領域包括:固體(金屬、半導體、介質等),或液體(純凈物或混合物)。

技術指標:

項目

技術指標

儀器型號

EMPro31

激光波長

632.8nm (He-Ne Laser)

1)膜層厚度精度

0.01nm (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)

1)折射率精度

1x10-4 (對于Si基底上100nm的SiO2膜層)

單次測量時間

與測量設置相關,典型0.6s

結構

PSCA(Δ在0°或180°附近時也具有極高的準確度)

激光光束直徑

1mm

入射角度

40°-90°可手動調節,步進5°

樣品方位調整

  • Z軸高度調節:±6.5mm
  • 二維俯仰調節:±4°
  • 樣品對準:光學自準直和顯微對準系統

樣品臺尺寸

平面樣品直徑可達Φ170mm

**的膜層范圍

  • 透明薄膜可達4000nm
  • 吸收薄膜則與材料性質相關

**外形尺寸

887 x 332 x 552mm (入射角為90º時)

儀器重量(凈重)

25Kg

選配件

  • 水平XY軸調節平移臺
  • 真空吸附泵

軟件

ETEM軟件:

  • 中英文界面可選;
  • l多個預設項目供快捷操作使用;
  • l單角度測量/多角度測量操作和數據擬合;
  • 方便的數據顯示、編輯和輸出
  • 豐富的模型和材料數據庫支持

注:(1)精度:是指對標準樣品上同一點、同一條件下連續測量25次所計算的標準差。

性能保證:

  • 高穩定性的He-Ne激光光源、先進的采樣方法以及低噪聲探測技術,保證了高穩定性和高準確度
  • 高精度的光學自準直系統,保證了快速、高精度的樣品方位對準
  • 穩定的結構設計、可靠的樣品方位對準,結合先進的采樣技術,保證了快速、穩定測量
  • 分立式的多入射角選擇,可應用于復雜樣品的折射率和**厚度的測量
  • 一體化集成式的儀器結構設計,使得系統操作簡單、整體穩定性提高,并節省空間
  • 一鍵式軟件設計以及豐富的物理模型庫和材料數據庫,方便用戶使用

產品咨詢

EMPro多入射角激光橢偏儀

北京賽凡光電儀器有限公司

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