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全自動晶圓刷洗機 TSC-150C

全自動晶圓刷洗機 TSC-150C

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北京特思迪半導體設備有限公司

北京

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全自動晶圓刷洗機 TSC-150C

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產品介紹

全自動晶圓刷洗機

TSC-150C/200C/200L

該系列設備是晶圓拋光后的專用清洗設備，集成全自動上下料系統、雙面PVA刷洗、兆聲清洗、甩干&N2吹干等單元，集成度高，濕/干進干出，適用于各種半導體晶圓拋光后的清洗。

TSC-150CTSC-200CTSC-200L

清洗工位皮帶傳送式6工位

晶圓尺寸3-6英寸

刷洗工位*22個PVA刷，雙面刷洗

Features

產品特點

清洗工藝

預清洗/雙面刷洗/漂洗/兆聲/吹干/甩干

刷子類型

PVA 刷 雙面刷洗

PLC控制系統

觸摸屏操作

全自動系統

皮帶傳動 Cassette in/out 干進干出


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全自動晶圓刷洗機 TSC-150C

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