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MDPspot單點壽命檢測儀

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弗萊貝格儀器（上海）有限公司

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1674

產(chǎn)品介紹

桌面單點測量

低成本的臺式少子壽命測量系統(tǒng)，對不同制備階段的硅材料電學參數(shù)進行表征。沒有內(nèi)置自動化。可選配手動z軸，用于厚度在156毫米以下的晶錠。

MDPspot可配電阻率測試選項。僅適用于硅，用于晶圓片，也可用于晶錠。

結(jié)果可視化的標準軟件。

特性

無接觸和非破壞的電學參數(shù)測試

對外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測，具有可視化測試的**分辨率

對于不同級別晶圓片，提供不同的菜單選項

優(yōu)勢

用于不同制備階段，從成體到*終器件，多晶硅或單晶硅單點測量載流子壽命的臺式裝置。

體積小，成本低，使用方便。擁有一個基本的軟件，結(jié)果可視化。

適用于晶圓片到晶錠，易于高度調(diào)整。

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MDPspot單點壽命檢測儀

弗萊貝格儀器（上海）有限公司

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