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WAFER AOI光學檢驗系統

進料的wafer，經過正反面目檢和顯微鏡正面micro檢查，進行檢查和分選。操作員不接觸wafer，避免了污染和損傷wafer。

性能描述：

• 標準配備1個Load port，單臂翻轉Robot，Pre-aligner，目檢臺和顯微鏡。

• 兼容8寸和12寸wafer

• 標準load port可以對應FOUP，AutoFOSB自動開蓋，具備mapping功能

• 高精度運動機構，低噪音，低塵，無需供油。

• 觸摸屏操作，界面友好。

• 對應GEM300，采用SEMI標準軟件

晶圓光學檢測機：