URE-2000/35A 型紫外單面光刻機
1．技術(shù)特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，全自動）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）采用自動找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能，自動分離對準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙，采用 350W 進口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度。設(shè)備外形美觀精制，性能非?？煽?，自動化程度很高，操作十分方便。
2．技術(shù)參數(shù)
。曝光面積：6 英寸
。曝光波長：365nm
。分辨力：1-1.2μm（膠厚 2 μm的正膠）
。對準(zhǔn)精度：±0.8μm
。掩模樣片整體運動范圍：X：15mm; Y:15mm
。掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸
。樣片尺寸：直徑 ±15mm-- ±150mm（各種不規(guī)則片） 21厚度 0.1mm--6mm
。曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
。具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
。照明不均勻性： 6%（±150mm 范圍）
。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)**倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍
。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
。數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙
。具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
。掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6o
。**焦厚：350μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
。光源平行性：3.5 o
。曝光能量密度：>15mW/cm2，照明面溫度<35 o
。單層曝光一鍵完成
。采用球氣浮自動找平
。汞燈功率：350W（直流，進口）
3．外形尺寸：1200mm（長）x900mm(寬) x1750mm（高）
4．配置
（1）曝光頭
。冷光橢球鏡
。350W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
。冷卻風(fēng)扇
。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準(zhǔn)工件臺
。掩模樣片整體運動臺
。掩模樣片相對運動臺
。轉(zhuǎn)動臺
。樣片調(diào)平機構(gòu)，三點自動完成22
。樣片調(diào)焦機構(gòu)，電機自動調(diào)
?；槔缴舷聶C構(gòu)
。承片臺 4 個：?15mm 、3 英寸、4 英寸、6 英寸（可按用戶要求增減）
。掩模夾 4 個：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（可按用戶要求增減）
（3）對準(zhǔn)顯微鏡
。光源（配備品 2 只）、 電源
。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
。CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)，21 寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
。單片機控制系統(tǒng)
。控制柜桌
（5）氣動系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動
。氣動儀表
（6）其他附件
。真空泵一臺
?？諌簷C一臺
。管道
