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儀器簡介：

應用：

◆ 硅片、化合物、半導體及透明材質產品表面缺陷的檢查分析。

技術參數：

KLA-Tencor Candela CS10表面缺陷檢測設備是針對半導體行業的表面缺陷的檢查分析儀器。該設備利用激光掃描樣品的整個表面，通過4個頻道（散射光頻道、反射光頻道、相移頻道及Z頻道）的探測器所收集到的信號，快速的將缺陷（包括微粒、劃傷、坑點、污染、痕跡等）進行分類，統計每一種缺陷的數量并且量測出相應的缺陷尺寸，*后給出整個表面的缺陷分布圖以及檢測報告。根據預先設定的標準，可以給出檢測樣品合格與否的判斷。

主要特點：

◆ 標準夾具從2英寸到8英寸的樣品，也可按需訂制；

◆ 可用于透明的材料的表面缺陷檢測；

◆ 可偵測的缺陷類型：顆粒，劃傷，突起，凹坑，水漬等；

◆ 手動（CS10）和自動傳輸模式（CS20）；

◆ 雙激光系統；

◆ 小顆粒的高靈敏度（80nm）；

◆ 強大的自動缺陷分類、統計分布和判別軟件。缺陷分布圖以及檢測報告內的每一個缺陷都有4個頻道拍到的照片儲存在設備內部，這些照片可以輔助技術人員分析缺陷的成因及進行相關驗證。可同時進行粗糙度、平坦度及膜厚均勻度的量測。其缺陷監測功能可以應用到不同的制程；

◆ 顆粒檢測-幾乎應用于所有制程的監測；

◆ 液體殘留-應用于清洗及研磨；

◆ 表面粗糙度、平坦度- 應用于研磨拋光；

◆ 膜厚均勻度-應用鍍膜工藝。

◆ 內部的過濾器可以保證內部的潔凈環境為10級，防止內部污染的同時該儀器還能長期保持穩定準確。擁有優秀的售后服務保障體系。